Важливість наукового інструменту скануючої тунельної мікроскопії полягає в тому, що він дозволяє отримати кількісні та точні вимірювання. Однак, недоліки п'єзокерамічних скануючих пристроїв ускладнюють використання таких технік в більш точних застосуваннях. Щоб уникнути таких недоліків, запропоновано комбінувати сканер з додатковим інструментом для точного вимірювання. У статті описано сканер з біморфним паралелограмним сканером та металізованим скляним кубом, розташованим над тунельною голкою, що виступає в якості контрелектрода або дзеркала для ємнісних та інтерферометричних вимірювань переміщень сканера. Ємнісні датчики розташовані на диференційних гвинтах, спрямованих на куб таким чином, що бічна помилка Аббе при вимірюванні фактичних зміщень над голкою знижується до мінімуму. Датчикова електроніка використовує джерело змінного струму типу Хауленда та має відхилення лінійності менше 0,15% до 30 мм та низьку частотну пропускну здатність 1 кГц. Запропонований дизайн сканера має більш точні вимірювання, ніж п'єзокерамічні сканери, тому він може бути використаний у точній метрології на мікро- та нанометровій шкалі.